型号：AS-V100-S
设备外形尺寸：长x深x高= 1200mmx 800mmx 1750mm
真空腔体尺寸：长x深x高= 450mmx 450mmx610mm
电源频率：13.56MHz
电源功率：1 Kw
电极板规格：非标定制
软件控制：PLC触摸屏
气体纯度要求：工业级气体或更好
可加载气体：02/ Ar/H2
灵活的货架结构允许在直接或下游等离子模式下处理各种各样的部件载体。
13.56 MHz射频发生器具有无与 伦比的过程再现性的自动阻抗匹配专有软件控制系统生成过程和生产数据统计过程控制。等离子腔体可支持不同 的组件和载具，如：料盒、托盘等。
AS系列产品说明：
采用自动控制界面和触摸屏人机界面，操作方便且可随时实时工艺监控。
独特的型腔设计，清洗均匀性好，清洗质量高。
等离子清洗具有重复性高，可控性强、利用率高、无污染、运行成本低等特点。
不同的腔体结构组合适用于不同类型的产品、组件或载具。
应用领域比较广泛，如半导体行业、模组、LED行业、汽车行业、新能源电池、太阳能等。
等离子AS-V100-S系列采用不锈钢材质 可满足千级以上无尘室需求
