型号：AS-V100
设备外形尺寸：长x宽x高= 1200*800*1750 mm
真空腔体尺寸：长x宽x高= 450*450*610mm
电源频率：13.56MHz
电源功率：1Kw
电极板规格：非标定制
软件控制：PLC触摸屏
可加载气体：Ar. N2、O2
产品特点：
采用自动控制界面和触摸屏人机界面，操作方便；
独特的型腔设计，清洗均匀性好，清洗质量高；
它采用两层结构，结合化学反应性和物理冲击，清洗周期短，效率高；
等离子清洗具有重复性高，可控性强、利用率高、无污染、运行成本 低等特点；
该系统结构简单、占地面积小、效率高、操作方便、运行稳定等优点；
D/A前，会增加引线框架或基板的表面湿润能力，使其结合的更加精密 牢固。
